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Titel

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Laserscanning-Mikroskop zur Vermessung von 3D-Oberflächenprofilen auf Wafern

 

Beschaffung eines Laserscanning-Mikroskops zur berührungslosen 3D-Oberflächenvermessung für das Ferdinand-Braun-Institut Berlin. Das Gerät soll Topologien, Rauigkeiten und Profile im Mikro- und Submikrometerbereich auf Wafern von 2 bis 200 mm Durchmesser erfassen.

Vergabeverfahren

Öffentliche Ausschreibung
Lieferauftrag (VOL)

NUTS

Berlin

Ausführung

DE-12489 Berlin

Frist

26.10.2026

Vergabestelle

Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Gustav-Kirchhoff-Str. 4
12489 Berlin

Beschreibung

Bekanntmachung

FBH-06.2.5 Laserscanning Mikroskop FBH-2026-0028

Vergabenr. FBH-2026-0028.

1. Zur Angebotsabgabe auffordernde Stelle, zuschlagserteilende Stelle:

Name und Anschrift: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Gustav-Kirchhoff-Straße 4
12489 Berlin
Deutschland
Telefonnummer:
Telefaxnummer:
E-Mail-Adresse:
Internet-Adresse: http://www.fbh-berlin.de
Zuschlagserteilende Stelle: Siehe oben.

2. Verfahrensart (§ 8 UVgO):

Verfahrensart: Öffentliche Ausschreibung.

3. Angebote können abgegeben werden:

  • elektronisch in Textform
  • elektronisch mit fortgeschrittener Signatur
  • elektronisch mit qualifizierter Signatur

Anschrift zur Einreichung schriftlicher Angebote: -ENTFÄLLT- (es sind ausschließlich elektronische Angebote zugelassen).

4. Zugriff auf Vergabeunterlagen:

Maßnahmen zum Schutz der Vertraulichkeit und die Informationen zum Zugriff auf die Vergabeunterlagen (§ 29 Abs. 3 UVgO):.

5. Art und Umfang sowie Ort der Leistung:

Art der Leistung: Um Oberflächen-Topologien, -Topographien und -Rauigkeiten sowie Profile im Mikrometer- und Submikrometerbereich auf Wafern von 2 bis zu 200 mm Durchmesser zu vermessen, wird ein Gerät zur berührungslosen Aufnahme von 3D-Oberflächenprofilen benötigt.
Menge und Umfang: 1 Stück
Ort der Leistung: Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik.

6. Losaufteilung:

Losweise Vergabe: Nein
Angebote sind möglich für: die Gesamtleistung.

7. Nebenangebote sind nicht zugelassen.

8. Etwaige Bestimmungen über die Ausführungsfrist:

Beginn der Ausführungsfrist:
Ende der Ausführungsfrist:
Bemerkung zur Ausführungsfrist:.

9. Elektronische Adresse, unter der die Vergabeunterlagen abgerufen werden können oder die Bezeichnung und die Anschrift der Stelle, die die Vergabeunterlagen abgibt oder bei der sie eingesehen werden können:

unter (URL:) https://vergabekooperation.berlin/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-1a065f137f2-2023af84c6ecac50
Weitere Auskünfte erteilen/erteilt Siehe oben
Stelle zur Anforderung der Vergabeunterlagen: Siehe oben
Anschrift der Stelle, bei der die Vergabeunterlagen eingesehen werden können: Siehe oben.

10. Ablauf der Angebots- und Bindefrist:

Angebote sind einzureichen bis: 26.10.2026 10:00
Ablauf der Bindefrist: 11.01.2027.

11. Höhe der etwa geforderten Sicherheitsleistungen:.

12. Wesentliche Zahlungsbedingungen:

BVB und ZVB des FBH.

13. Ggf. mit dem Angebot vorzulegende Unterlagen zur Eignungsprüfung des Bewerbers:

Bietererklärung zur Eignung ab 1000 Euro; Abfrage §6 KRG; Erklärung Frauenförderverordnung FFV ab 25.000 Euro brutto.

14. Angabe der Zuschlagskriterien:

Der niedrigste Preis Nein
Wirtschaftlich günstigstes Angebot in Bezug auf die nachstehenden Kriterien: 1 Preis (40%), 2 Technische Eigenschaften, Softwareausstattung und Bedienkomfort (40%), 3 Verfügbarkeit sowie Preis von Optionen und Service (20%).

15. Sonstiges:

Veröffentlichung

Geonet Ausschreibung 205976 vom 30.09.2026